Bora nitrīda ķīmiskā tvaika fāzes sintēze

1979. gadā Sokolovskis veiksmīgi izmantoja impulsa plazmas tehnoloģiju, lai zemā temperatūrā un zemā spiedienā sagatavotu kubisko bora nitrīda (CBN) plēves. Izmantotais aprīkojums ir vienkāršs, un procesu ir viegli realizēt, tāpēc tas ir strauji attīstīts. Ir parādījušās dažādas tvaiku nogulsnēšanās metodes. Tradicionāli tas galvenokārt attiecas uz termisko ķīmisko tvaiku nogulsnēšanos. Eksperimentālo ierīci parasti veido karstumizturīga kvarca caurule un sildierīce. Substrātu var sildīt ar apkures krāsni (karstās sienas CVD) vai augstas frekvences indukcijas sildīšanu (aukstās sienas CVD). Reakcijas gāze sadalās uz augstas temperatūras substrāta virsmas, un tajā pašā laikā notiek ķīmiska reakcija, lai nogulsnētu plēvi. Reakcijas gāze ir jaukta BCl gāze₃ vai B₂H₄un NH₃.