Pirolītiskais bora nitrīds spēlē lomu pusvadītāju rūpniecībā

Aug 22, 2023

Pirolītiskajam bora nitrīdam (PBN) ir bijusi izšķiroša loma pusvadītāju rūpniecībā, pateicoties tā izcilajām īpašībām. PBN ir lielisks siltumvadītājs, stabils augstā temperatūrā, un tam ir zemi dielektriskie zudumi. Šīs īpašības padara to par ideālu materiālu dažādiem kritiskiem lietojumiem pusvadītāju rūpniecībā.

Pirmkārt, PBN izmanto epitaksiālo plāksnīšu ražošanā. PBN laivas veicina epitaksiālo slāņu augšanu, nodrošinot pamatnei stabilu platformu, kas var izturēt augstu temperatūru un uzturēt tīru vidi. PBN ir arī lieliska termiskā stabilitāte un ķīmiskā izturība, kas samazina epitaksiālo slāņu piesārņojumu augšanas laikā.

Otrkārt, PBN izmanto silīcija plātņu ražošanai. PBN tīģeļus izmanto silīcija kausēšanai un kristalizācijai, kas ir izejmateriāls silīcija vafeļu ražošanai. Šie tīģeļi var izturēt augstas temperatūras gradientus un samazina piesārņojuma risku kausēšanas procesā.

Turklāt PBN tiek izmantots arī augstas veiktspējas tranzistoru ražošanā. Substrāti, kuru pamatā ir PBN, nodrošina stabilu un tīru platformu augstas kvalitātes tranzistoru izgatavošanai. PBN substrāti var arī uzlabot tranzistoru veiktspēju, samazinot parazitāro kapacitāti un palielinot siltumvadītspēju.

Kopumā PBN ir bijusi izšķiroša loma pusvadītāju nozares attīstībā. Tā izcilās īpašības ir ļāvušas ražot augstas kvalitātes epitaksiālos slāņus, silīcija plāksnes un augstas veiktspējas tranzistorus. Tā kā pieprasījums pēc progresīviem pusvadītājiem turpina pieaugt, PBN neapšaubāmi būs svarīgs materiāls šajā nozarē turpmākajos gados.